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简介

发布日期:2019-06-18

微纳宽禁带与柔性电子器件研究室在“微电子材料与器件研究所”及“纳电子工程研究中心”基础上,为优化学科方向、整合科研资源,更好组织推进科研活动及学院学术发展,于2019年2月正式组建运行。面向新一代电子器件的发展需求,研究室研究方向主要分为纳米高频电子器件、宽禁带半导体器件和柔性电子器件。纳米高频器件主要面向太赫兹和毫米波技术,通过微纳加工实现器件的高频性能,是未来无线电子系统的硬件核心。本方向研究内容涵盖了新型材料(二维材料和超材料)、仿真计算、纳米工艺、高频器件和电路等方面,具体包括探测器和信号源、空间波和表面波的动态调控、新型电路与模块集成及其在新一代成像/雷达/通信系统中的应用。宽禁带半导体器件主要面向新一代宽禁带半导体器件和电路的需求,从事宽禁带半导体材料、高性能器件及集成技术的研究工作。重点开展宽禁带半导体功率器件、光电子器件、开关器件、存储器、传感器件等结构设计技术、工艺技术、器件物理和可靠性的研究,解决新一代半导体电子器件中的新材料、新工艺、新器件以及集成技术领域的问题和难点。柔性电子器件是一门集理、工、医等学科内容的新兴交叉学科,以材料学、微纳电子学和力学为核心基础,聚焦柔性光电材料、半导体性质、器件物理机制、器件工艺和集成中的关键科学问题和技术难点为研究对象,面向新一代可穿戴电子、信息显示、人工智能、存储计算、数据加密、生物传感、健康医疗等应用领域。

研究室目前有国内外一流的高精尖纳米加工设备(7nm线宽的电子束曝光系统)、超高频太赫兹检测设备(750GHz)、低温强磁场测试系统(4K-500K)以及完备的导体、半导体及绝缘体薄膜生长系统、薄膜表面形貌分析测试平台、电学与光学性能分析测试平台,研究能力已全面接轨国际先进水平。目前研究室拥有一支结构合理,学术水平较高的学术梯队,包括“特聘教授”、“泰山学者”、“齐鲁青年学者”、“青年学者未来计划”等多名优秀人才,已承担了多项国家重大科研项目、国防重点项目、国家自然科学基金、省部级自然科学基金以及科技创新专项等。研究室的发展方向是当前国际微电子学科发展的重点及前沿领域,研究室成员目前已经取得了一系列高水平研究成果(包括ScienceNature CommunicationsPhysical Review Letters、Advanced Materials、ACS Nano、Advanced Functional Materials、PNASSmall、Materials TodayIEEE Electron Device Letters、Physical Review BApplied Physics Letters等),在国内外微纳电子领域具有很强的影响力。

发展微纳宽禁带与柔性电子器件将推动国民经济高质量发展和相关产业结构转型与升级,提升高校科技创新和服务国家重大战略的能力。在培养高层次、实用型、复合型、国际化微电子人才的同时,以面向市场、产业和微纳电子领域需求为目标,加强产学研联合,提高微纳电子产业自主创新能力,促进今后山东省乃至全国微纳电子产业的发展、提升信息产业发展水平。